超高真空（Ultra High Vacuum，UHV）是指压力低于1×10-8mbar的真空状态。在这种环境下，气体分子的数量非常稀少，平均自由程约数十公里，处于分子流状态，几乎所有分子相互作用都发生在腔体的各个表面上。
典型的固体表面原子密度约为1015cm-2，假设碰撞到表面上的分子完全被吸附，在10-6mbar的真空压力下形成分子单层仅需几秒，而在10-10mbar或10-11mbar真空下时，形成单分子层的时间则达几小时到几十小时，因此，洁净的材料表面都必须在超高真空环境下获得和保持。
UHV技术的应用广泛覆盖多个领域，包括材料科学、表面科学、半导体工业和光学研究等。在超高真空的环境中，研究者能够更加准确地深入研究材料的特性、探索表面化学反应和微观结构，同时应用于制造高性能电子器件等前沿领域。
超高真空技术主要涉及超高真空的获取、测量和维持，以及UHV条件下的运动。费勉仪器已成功掌握超高真空状态下涉及的一系列精密而复杂的技术，包括高效的真空泵系统、特殊材料的选择和处理、精密的真空腔室设计，以及准确的真空测量和控制系统。
这些技术的综合运用使得超高真空环境不仅能够提供极低的气体分子干扰，同时能够稳定地维持这种高度真空状态。我们成功自主开发了多项真空系统的核心组件，获得真空领域授权专利28个。
我们自产的真空部件，不仅能满足用户在超高真空环境中的多维线性和旋转运动，并且可以实现真空系统中稳定精准传样。 真空部件均采用超高真空兼容材料，能够在10-11mbar至1bar的工作气压范围内稳定运行。
超高真空直线互联系统，可集成材料制备、材料处理、材料表征和量测类等多种功能性设备，实现材料全生命周期的综合物性研究。直线互联系统采用模块化设计，拓展性强，极限真空可达10⁻¹¹mbar量级。
圆形传样互联系统基于多通道圆形传样系统的模块化设计，结构紧凑，运行高效。它既适用于小型实验室级别的互联搭建，也可以实现大型设备平台的构建。圆形传样互联系统极限真空可达10⁻¹¹mbar量级，同时采用固体润滑薄膜技术，可靠耐用。
在超低温条件下，物质的特性会出现奇妙的变化：空气变成液体或固体；生物细胞或组织可以长期贮存而不死亡；导体的电阻消失了——超导现象；液体氦的黏滞性几乎为零——超流现象，而导热性能比高纯铜还好。
超低温制冷技术是一种将物体冷却至极低温度的技术，其应用涉及到许多前沿领域：能源（超导输电、超导储能、超导电机等），交通（磁悬浮列车、船舶磁推进器），医疗卫生（核磁共振成像、生物磁仪器等），电子技术（超导微波技术应用、各类超导传感技术、半导体—超导体集成电路、超导计算元件等），重大科学工程（加速器、受控热核装置等）和国防技术（超导反潜、扫雷、飞船载入、电磁推进、通讯及制导等）等等。
低温制冷技术主要采用气体膨胀和绝热节流制冷循环，利用液氮、液氦等低温介质作为冷源，通过多级制冷系统实现从室温到极低温度的连续降温。目前主流的低温制冷技术包括：斯特林制冷机、G-M制冷机、脉冲管制冷机、逆布雷顿循环制冷机以及稀释制冷机等。这些技术各有特点，适用于不同的温度区间和应用场景。
超低温技术与许多尖端科学研究密不可分。 比如量子计算、超导电技术、航天与航空技术、受控热核聚变、远红外探测。
在国家重大战略需求的驱动下，多学科交叉会聚与多技术跨界融合将成为常态，并不断催生新学科前沿、新科技领域和新创新形态。
费勉仪器充分发挥超低温技术优势，交叉结合超高压、强磁场、超高真空综和超快光场等技术，为大科学装置、国家实验室等跨学科交叉研究平台提供高性能的标准化/定制化产品以及整体解决方案。
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