五轴真空电动驱动器

本高精度真空探测组件搭载五轴全闭环位移平台与超高真空腔体，集成宽频射频探测探头，具备低磁导率、超高真空密封特性，可实现多维度精密调节，适用于加速器束流纵向参数精准检测。

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产品特点 FEATURES

（1）五轴光栅全闭环位移平台，微米/角秒级多维度精密定位调节。

（2）316LN低磁不锈钢真空腔体，整体磁导率≤1.05，超高真空密封性能优异。

（3）TZM钼合金宽频射频探头，20GHz信号低损耗稳定传输，50Ω阻抗精准匹配。